晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E5AN-R3HBT-W-N指導手冊。
使用環保導線(無滑石粉)。
檢測方式:反射型。
檢測距離:紅外光0~3mm。
動作模式:有晶圓片托架時ON
E5AN-R3HBT-W-N
導線長:2m。放大器分離接近傳感器可簡單設定高精度的靈敏度。
可根據用途選擇傳感器探頭種類,傳感器前置放大器-放大 器之間采用耐彎曲電纜。
不易受環境溫度影響,溫度特性為0.08%/°C (φ5.4型)E5AN-R3HBT-W-N指導手冊。
可簡單、確實檢測設定微米級精度(示教功能)。
可確認檢測余量(數字顯示)。
高精度的定位、支持甄別檢查、變化量最大化“FP (Fine Positioning)功能”。
也備有適用于EtherCAT傳感器通信單元/CompoNet通信單元的E2C-EDA0型號。種類:可插拔式。
尺寸:48×96mmE5AN-R3HBT-W-N指導手冊。
控制輸出1:繼電器輸出。
控制輸出2:繼電器輸出。
輔助輸出:2點。
通信:--。
加熱器斷線:1點。
事件輸入:2點。
電源電壓:AC100~240V。
使用大字體PV顯示(白色),提高可視性。
選型、設定及操作更為簡捷多組輸入/輸出,
功能齊全性能更強、功能更完善應用更范圍更為廣泛歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
E5EC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為18mm,
而E5AC-800的白光LCD-PV顯示屏高度約為25mm改進了可視性。
主體短小,厚度僅為60mm。
50ms高速采樣周期。
新型位置比例控制型號使您還可以控制閥門。尺寸:48×96mm。
本體:端子臺型,溫度輸入型歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
種類:控制輸出1點型(電源AC100~240V用)。
外殼顏色:黑色。
控制輸出:繼電器輸出。
控制模式:標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數:3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源:單相加熱器用檢測功能歐姆龍E5AN-R3HBT-W-N手冊。
事件輸入點數:--。
傳送輸出:--。
通信:RS-485。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級&功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能,性能進一步提升。
增加PV/SV狀態顯示功能,方便查看溫控器的狀態
(自動/手動、RUN/STOP、報警發生),可交互顯示PV/SSVE5AN-R3HBT-W-N指導手冊E5AN-R3HBT-W-N。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能,可預防維護溫控器內部繼電器。
增加了3段顯示,可同時顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵,分配自動/手動、RUN/STOP等,可實現一鍵操作。