尺寸：1/16 DIN，48×48×60mm。
電源電壓：AC100～240V。
輸入類型：熱電偶。
報(bào)警點(diǎn)數(shù)：--。
控制輸出：繼電器輸出。
簡單的新型溫控器，輕松實(shí)現(xiàn)溫度控制歐姆龍光電傳感器使用說明書。
可視性好(字符高度E5CSL：21.7mm，E5CWL：16.2mm(PV)，E5EWL：20mm(PV))E3F3-R62M
距前面板的進(jìn)深：僅60mm。
參數(shù)更少，設(shè)定簡單。
采樣時(shí)間縮短至250ms。螺距：6M。
導(dǎo)線長度：2m。
品種豐富的高精度溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對(duì)應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時(shí)的棒狀端子對(duì)應(yīng)品歐姆龍光電傳感器使用說明書。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式歐姆龍光電傳感器使用說明書。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。本體：程序型。
尺寸：48×96mm。
類型：控制閥門控制型（1輸入）。
控制模式：1通道位置比例控制。
輸出（控制/傳送）點(diǎn)數(shù)：繼電器輸出（開1點(diǎn)+關(guān)1點(diǎn)）。
輸助輸出（SUB）點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：4點(diǎn)。
串行通信：--E3F3-R62M使用說明書。
全新推出高速、高精度數(shù)字調(diào)節(jié)儀（程序型）！
可設(shè)定多達(dá)32種程序。
1臺(tái)可協(xié)調(diào)運(yùn)行多達(dá)4個(gè)通道。
50ms的高速采集。
用CX-Thermo在計(jì)算機(jī)上輕松設(shè)定。尺寸：96×96mm。
本體：端子臺(tái)型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點(diǎn)型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：銀色。
控制輸出：電流輸出E3F3-R62M使用說明書。
控制模式：標(biāo)準(zhǔn)或加熱冷卻。
輔助輸出點(diǎn)數(shù)：3點(diǎn)。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：--。
事件輸入點(diǎn)數(shù)：2點(diǎn)。
傳送輸出：可傳送輸出（使用控制輸出）E3F3-R62M使用說明書。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級(jí)＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預(yù)防維護(hù)功能，性能進(jìn)一步提升。
增加PV/SV狀態(tài)顯示功能，方便查看溫控控器的狀態(tài)
（自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP、報(bào)警發(fā)生），可交互顯示PV/SSV歐姆龍光電傳感器使用說明書E3F3-R62M手冊(cè)。
增加控制輸出ON/OFF次數(shù)計(jì)數(shù)功能，可預(yù)防維護(hù)溫控器內(nèi)部繼電器。
增加了3段顯示，可同時(shí)顯示易于理解的當(dāng)前值/目標(biāo)值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動(dòng)/手動(dòng)、RUN/STOP等，可實(shí)現(xiàn)一鍵操作。